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LCD용 칼라필터의 Black Matrix 표면에 발생하는 잔사의 정량화
Quantification of the Scum on the Black Matrix Surface of Color Filter for LCD
분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
1999, v.12 no.5, pp.415-420
구영모,
이종서,
&
이충훈.
(1999). LCD용 칼라필터의 Black Matrix 표면에 발생하는 잔사의 정량화. 분석과학, 12(5), 415-420.
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초록
칼라필터의 Black Matrix (BM)의 표면에 발생하는 잔사의 양을 Atomic Force Microscopy (AFM) 측정 결과에 의해 얻어진 히스토그램을 사용하여 정량화하였다. 히스토그램을 free BM 표면(1)과 잔사(2)에 해당하는 두 개의 Gaussian 함수로 분리하고 각 분포의 면적(<TEX>$a_1$</TEX>, <TEX>$a_2$</TEX>)을 계산하여, 잔사가 차지하는 면적비(<TEX>$a_2/(a_1+a_2)$</TEX>)를 계산하였다. 또한, free BM 표면에 대한 Gaussian 함수로부터 free BM 표면내에 또 다른 잔사가 존재하고 있음을 알 수 있었다. 이것의 경우에는 잔사의 양을 정확하게 수치적으로 정량화는 할 수 없지만, 분포의 평균값과 표준 편차로부터 정성적인 결과를 얻을 수 있다.
- keywords
- color filter, black matrix, photoresist, AFM
Abstract
We estimated the quantity of the scum remaining on the Black Matrix (BM) surface of color filter. To do this, histogram was analyzed which was obtained from AFM image of the BM surface. We divided the histogram to two Gaussian functions of the free BM surface (1) and the scum (2), and calculated the areas (<TEX>$a_1$</TEX>, <TEX>$a_2$</TEX>) of both the Gaussian functions. We quantified the residue as the ratio of the area (<TEX>$a_2/(a_1+a_2)$</TEX>). As a result of the Gaussian functions of the free BM surface, it was revealed that another kind of residue remained on the BM surface. It was difficult to quantify it. but it could relatively be estimated from the average height and the standard deviation.
- keywords
- color filter, black matrix, photoresist, AFM
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