ACOMS+ 및 학술지 리포지터리 설명회

  • 한국과학기술정보연구원(KISTI) 서울분원 대회의실(별관 3층)
  • 2024년 07월 03일(수) 13:30
사전등록 바로가기
 

  • P-ISSN1225-0163
  • E-ISSN2288-8985
  • SCOPUS, ESCI, KCI

논문 상세

Home > 논문 상세
  • P-ISSN 1225-0163
  • E-ISSN 2288-8985

이전

다음

10권 5호
PubReader Share

글로우방전 질량분석법을 이용한 다층박막의 표면 분석

Analysis of multi-layered Surface with Glow Discharge-Mass Spectrometry

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
1997, v.10 no.5, pp.357-361
박용남
이계호
김효진
박용남, 이계호, & 김효진. (1997). 글로우방전 질량분석법을 이용한 다층박막의 표면 분석. 분석과학, 10(5), 357-361.
  • 다운로드 수
  • 조회수

초록

Griemm 형태의 글로우방전셀을 상업용 사중극자 ICP-MS에 장착시켜 다층박막의 표면 분석을 시도하였다. 지름이 2.0mm인 양극과 적절한 실험 최적 조건을 사용한 결과 <TEX>${\mu}m$</TEX> 두께의 여러층들을 30여 분 이내에 분석할 수 있었다. Cu-Ni 및 Fe-Ni의 다층막을 GDMS로 분석한 결과 10nm정도의 분해능이 가능하였으며, 이는 바닥이 평평한 crater를 얻을 수 있는 실험조건에서 측정하였기 때문이다.

keywords
glow discharge, glow discharge mass spectrometry, depth profile study, multi-layer profile study

Abstract

A Griemm type Glow Discharge cell is attached to a commercial quadrapole based ICP-MS and used for the analysis of surface analysis. By employing 2.0mm diameter, mode and proper experimental conditions, several layers of few <TEX>${\mu}m$</TEX> thickness are analysed within 30 minutes. Multi-layers of Cu-Ni, Fe-Ni are analyzed with the resolution of 10nm by GDMS. Proper experimental conditions make a flat bottom crater shape and good resolution for multi-layer depth profile study.

keywords
glow discharge, glow discharge mass spectrometry, depth profile study, multi-layer profile study


  • 다운로드 수
  • 조회수
  • 0KCI 피인용수
  • 0WOS 피인용수

권호 내 다른 논문

추천 논문

상단으로 이동

권호 목록

소개

규정 및 지침

게시판

COPYRIGHT ⓒ - 한국분석과학회
서울 마포구 마포대로 127;풍림VIP텔 1603호;(공덕동), +82-(0)2-701-8662
proton@jbnu.ac.kr

  학술지 홈페이지 이용 환경은   크롬 브라우저 사용을 권장합니다.

분석과학

논문 투고 OA 정책