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에어샤워부품의 용출 가스 중 유기화합물의 반 정량적 Headspace GC-MS 분석
Semiquantitative Dynamic Headspace GC-MS Analysis for Organic Compounds Outgassed from FAB Materials of Air Shower
분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
2000, v.13 no.4, pp.412-422
박현미,
백승우,
김영만,
&
이강봉.
(2000). 에어샤워부품의 용출 가스 중 유기화합물의 반 정량적 Headspace GC-MS 분석. 분석과학, 13(4), 412-422.
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초록
실리콘 웨퍼 산업계의 청정실에서 사용되는 에어샤워기중 고분자로 제작된 부품들을 <TEX>$100^{\circ}C$</TEX>에서 30분간 다이나믹 해드 스페이스에서 가스로 용출한 후 GC-MS로 분석 하였다. 에어샤워기가 가동중인 청정실의 대기를 흡착관 튜브방식으로 채취하였고, 이러한 흡착관 튜브에 흡착된 유기화합물은 쏙시렛 용출법을 이용하여 용출한 후 GC-MS로 분석하였다. 에어샤워기의 제조 부품(electric over current relay, acryl plate. polycarbonate window, filter, fan housing, steel galvanized cold plate and canvas buffer)들로 부터의 분석결과 대부분의 성분들은 제조부품의 고분자 성분들에서 유래되었음을 확인 할 수 있었으며, 에어샤워기가 가동중인 청정실의 대기분석 결과와 비교 분석되었다. 이러한 분석결과의 비교 연구는 청정실내에서의 유기오염물질이 에어샤워기의 고분자 제조부품으로부터 유래 되었는지를 확인하게 해준다.
- keywords
- shower, headspace, GC-MS, sorbent tube, soxhlet
Abstract
The polymeric FAB materials of air shower used in clean room of wafer industry have been outgassed with the dynamic headspace (ca.<TEX>$100^{\circ}C$</TEX>) for half an hour, and analyzed using GC-MS. The air in the clean room running air shower was sampled using sorbent tube method, and the organic compounds adsorbed in the sorbent tube were extracted using Soxhlet extraction method, and analyzed using GC-MS. The analytical results from FAB materials of air shower (electric over current relay, acryl plate. polycarbonate window, filter, fan housing, steel galvanized cold plate and canvas buffer) indicated that most of chemicals were originated from polymer fragments of FAB materials. Their analytical results have been compared with those from the air of clean room running air shower. These comparative results could lead to identify whether the sources of trace organic contaminants in clean room air are originated from the polymeric FAB material of air shower.
- keywords
- shower, headspace, GC-MS, sorbent tube, soxhlet
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