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Radio frequency gas-jet boosted 글로우 방전 원자 방출 분광법을 이용한 전도성 및 비 전도성의 다층 두께 분석에 관한 연구
The Studies of Conductive and Non-Conductive Multi-Layer Depth Analysis by Radio Frequency Gas-Jet Boosted Glow Discharge Atomic Emission Spectrometry
분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
2002, v.15 no.3, pp.7-242
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(동덕여자대학교)
(동덕여자대학교)
(포항 산업 과학 기술 연구원)
(포항 산업 과학 기술 연구원)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(에이치아이티 부설 연구소)
(동덕여자대학교)
(동덕여자대학교)
(포항 산업 과학 기술 연구원)
(포항 산업 과학 기술 연구원)
조원보,
이성훈,
정종필,
최우창,
스튜어드보든,
김규환,
김경미,
김효진,
정성욱,
&
이중주.
(2002). Radio frequency gas-jet boosted 글로우 방전 원자 방출 분광법을 이용한 전도성 및 비 전도성의 다층 두께 분석에 관한 연구. 분석과학, 15(3), 7-242.
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초록
RF 글로우 방전 원자 방출 분광법을 사용하여 다층 도금강판 두께분석을 하였다. 일반적으로 gas jet boosted 글로우 방전은 플라스마 안정성과 스퍼터링 효율이 우수하여 기존의 두께 분석법에서 측정이 어려운 다층 두께분석이 가능하며, RF를 사용하여 비전도성 실리콘-수지계열의 다층 도금강판 두께분석이 가능하였다. RF gas-jet boosted 글로우 방전은 방전전원과 가스 흐름량 그리고 방전압력에 의해 스퍼터링을 조절할 수 있다. 그래서 스퍼터링 효율에 의해 다층 도금된 강판의 경우 소재에 따라 서로 다른 조건에서 측정할 수가 있었다. 본 연구에서 두께 20 ㎛의 아연층을 가진 아연 도금강판의 두께 및 조성을 분석하기 위해서 최적조건에 대한 연구를 하였고, 두 가지 기준물질로 구성된 수지 도금강판을 이용해서 검량선을 측정하였다. 본 연구에 최적조건 및 검량을 하기 위해서 아연합금 도금강판 및 실리콘-수지 도금강판은 포항 산업 과학 기술원(RIST)에서 제공하였다.
- keywords
- RF gas-jet boosted nozzle, Depth profiling, atomic emission sepctrometry
Abstract
method was investigated to determine the thickness of coating on steel sheet using rf glow discharge atomic emission spectrometer. The RF gas-jet boosted glow discharge has such salient feature as good pleasure stability and high sputtering efficiency that it was possible to determine the thickness of silicon resin film on zinc electroplated steel. The erosion speed variation is dependent on discharge power, gas flow rate and discharge pressure. therefore determine discharge condition to measure the thickness of coating on steels. The fundamental studies have been carried out to investigate&enote;
- keywords
- RF gas-jet boosted nozzle, Depth profiling, atomic emission sepctrometry
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