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  • P-ISSN1225-0163
  • E-ISSN2288-8985
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7권 4호
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양성자 유발 X-선 발생법에 의한 금 박막의 두께 측정

Measurment of Gold Coating Thickness by PIXE

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
1994, v.7 no.4, pp.471-476
김낙배
우형주
김영석
김덕경
김준곤
최한우
박긍식
김낙배, 우형주, 김영석, 김덕경, 김준곤, 최한우, & 박긍식. (1994). 양성자 유발 X-선 발생법에 의한 금 박막의 두께 측정. 분석과학, 7(4), 471-476.
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초록

PIXE(양성자 유발 X-선 발생) 분석법을 이용한 박막 두께 측정의 가능성을 알아보기 위하여, 구리판 위에 코팅된 금 박막 시료들을 이용하여 실험을 수행하였다. 두 가지 실험방법을 사용하여 분석을 하였으며, 결과를 비교하여 보았다. 또한 분석 결과의 정확성을 확인하기 위하여 무게측정 방법과 양성자 RBS 분석법에 의한 결과들과 비교하여 보았다. 이 분석 방법은 고고학 시료나 거대시료와 같이 진공 표적함에 집어 넣을 수 없는 경우에도 비파괴적으로 박막의 두께를 측정할 수 있는 장점을 갖고 있다.

keywords
PIXE, proton BS, gold coating, nondestructive thickness measurement, stopping power, X-ray absorption

Abstract

The capability of PIXE (Proton Induced X-ray Emission) method for the precision measurement of coating thickness has been tested by measuring several gold coated copper plates. Two different experimental methods are applied and compared. The results are compared with those by the weight measurement and proton RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry). The advantage of the method is that it can be also used for the nondestructive thickness measurement of this layers on large-scaled samples or archeological samples which cannot be placed in a vacuum chamber.

keywords
PIXE, proton BS, gold coating, nondestructive thickness measurement, stopping power, X-ray absorption


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