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  • 2024년 07월 03일(수) 13:30
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  • P-ISSN1225-0163
  • E-ISSN2288-8985
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13권 5호
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파장분산형 엑스선 분광기에 의한 전자탐침미세분석시 Xe 표준물질에 관한 연구

A Study on the Standards for Xe Analysis by Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS) of Electron Probe Micro Analysis (EPMA)

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
2000, v.13 no.5, pp.565-572
박순달
하영경
김종구
지광용
김원호
박순달, 하영경, 김종구, 지광용, & 김원호. (2000). 파장분산형 엑스선 분광기에 의한 전자탐침미세분석시 Xe 표준물질에 관한 연구. 분석과학, 13(5), 565-572.
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초록

파장분산형 엑스선분광분석기에 의한 Xe의 전자탐침미세분석시 표준물질에 대해 기술하였다. 실험결과 순수금속 표준시편을 사용할 수 없는 Cs, I, Ba의 표준물질로는 Csl와 <TEX>$BaCO_3$</TEX>가 가장 적당한 것으로 나타났다. 빔전류량 10-30 nA에서 Csl, CsBr로부터 측정한 Cs의 엑스선 세기는 빔전류량에 비례하였다. PET 결정 사용시 In-Nd 원소들의 원자번호 대 엑스선 세기간의 직선성은 가속전압 25-30 kV 범위에서 직선회귀 계수 R

keywords
EPMA, WDS, Xe

Abstract

In this paper it was described on the standards for Xe analysis by Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS) of Electron Probe Micro Analyser. According to the experimental results, CsI and <TEX>$BaCO_3$</TEX> are appropriate compounds as standard specimen for Cs, I and Ba which has not suitable pure metal standards. In the beam current of 10-30 nA range, the Cs x-ray intensity measured from CsBr and CsI was proportional to the beam current. It was found that the linear regression factor R, showing the linearity between the atomic number and x-ray intensity between In and Nd elements, was higher than 0.99 at 25 kV and PET crystal. The caJlculated x-ray intensity of Xe standard from this linear regression equation was 1.095 times higher than that ofTe at 25 kV.

keywords
EPMA, WDS, Xe


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