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  • 한국과학기술정보연구원(KISTI) 서울분원 대회의실(별관 3층)
  • 2024년 07월 03일(수) 13:30
 

  • P-ISSN1225-0163
  • E-ISSN2288-8985
  • SCOPUS, ESCI, KCI

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  • P-ISSN 1225-0163
  • E-ISSN 2288-8985

고주파 글로우 방전을 이용한 GRIMM형 방전원의 특성 및 방출/흡광분석법 연구

Characterization and Emission/Absorption Study of a Grimm-type Glow discharge source in the application of high frequency Glow Discharge

분석과학 / Analytical Science and Technology, (P)1225-0163; (E)2288-8985
1994, v.7 no.2, pp.155-164
서정기
우진춘
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초록

전형적인 Grimm형 방전관을 제작하고 고주파 방전에 의한 금속 및 세라믹시료 분석에 적용하였다. 금속 알루미늄과 알루미나에 대해 방출 스펙트럼을 관찰하였고 방전에 미치는 고주파의 전력과 알곤 기체의 압력에 대한 영향을 관찰하였으며, 시료와 접촉된 전극에 나타나는 DC-bias voltage를 확인하였다. 또한 SEM 사진을 관찰함으로써 rf-sputtering에 의한 알루미나 표면의 미세구조를 확인하였다. 저합금강(BAS 404-405) 중의 망간성분과 황동시료(NIST 1108-1117) 중의 아연성분에 대해 검량곡선을 작성한 결과 양호한 직선성을 보여 주었다.

keywords
rf-Glow Discharge, Ceramic analysis, Emission spectrometry, Absorption spectrometry

Abstract

A conventional Grimm-type glow discharge source was constructed and applied to radio-frequency(13.56MHz) discharge for metal and ceramic analysis. We investigated the emission spectrum for aluminium and aluminium oxide and the influence of discharge operating paramaters including argon pressure, rf-power and DC-bias voltages at the sample-side electrode. Scanning Electron Microscope(SEM) also was used to investigate the effect of rf-sputtering on the microstructure formation of the aluminium oxide. Linear analytical calibration curves were constructed for Manganese and zinc element in samples of low alloy steel(BAS 401-405) and brass(NIST 1108-1117).

keywords
rf-Glow Discharge, Ceramic analysis, Emission spectrometry, Absorption spectrometry


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